Flanschfixierte MRP
- Einfaches Montieren
- Alle Elektronik befindet sich außerhalb der Kammer
- Länge des Glasrohres kann eingestellt werden
- Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme
Frei positionierbare MRP
- Flexibelste Positionierung
- Installation dort, wo kein Abschatten stattfindet
- Flexibles Kabel im Vakuum zum Flansch
- Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme
Positioniermechanik MRP
- Ortsauflösung der Plasmaparameter
- Schutz der Sonde im Flansch möglich
- Mechanisches System befindet sich außerhalb der Kammer
- Geeignet für Forschung und Entwicklung
Wandintegrierte planare MRP
- Sonde ist für den Prozess versteckt
- Kein Abschatten oder Stören des Prozesses
- Positionierung im Flansch möglich
- Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme