Projekt

House of Plasma – Advanced Plasma Sensors

ERFAHRUNG – GESCHICHTE DER MRP

Die Multipolresonanzsonde wurde an der Ruhr-Universität Bochum entwickelt. Mehr als 10 Dissertationen und über 30 Publikationen belegen die Erfahrungen mit der MRP in Bochum. Im Rahmen von zwei durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung geförderten Projekten wurde der Proof of Principle und der erfolgreiche Einsatz in industriellen Produktionsprozessen demonstriert. Es konnten auch Regelsysteme aufgebaut werden, z.B. beim reaktiven Sputtern zur Prozessstabilisierung in einem Arbeitsbereich mit hohen Abscheideraten und hochqualitativen Schichten.

Hier erfahren Sie mehr über vorherige Arbeiten.

GEFÖRDERTES PROJEKT

Im Juli 2020 wurde ein gefördertes Projekt zur Ausgründung gestartet. Das Ministerium für Wirtschaft, Innovation, Digitalisierung und Energie des Landes Nordrhein-Westfalen hat beschlossen, unser Projekt durch die Förderung an der Ruhr-Universität Bochum zu ermöglichen. Es ist im Europäischen Fonds für regionale Entwicklung angesiedelt, um in die Zukunft von Regionen mit z.B. starkem Strukturwandel zu investieren.