Technologie

Plasma wird für viele verschiedene Anwendungen wie Abscheidungs- oder Ätzprozesse eingesetzt.

Eine große Vielfalt an Quellen (DC, RF, Mikrowelle, …) führt zu einem hohen Bedarf an universellen Diagnosewerkzeugen.

So werden leicht zugängliche Parameter wie Spannungen oder Emission gemessen.

All diese Werte sind indirekte Parameter, die keine Einblicke in das Plasma erlauben – welches für den Produktionsprozess verantwortlich ist!

Die Multipolresonanzsonde (Multipole Resonance Probe – MRP) basiert auf dem Prinzip der aktiven Plasmaresonanzspektroskopie und misst in-situ und in Echtzeit die Elektronendichte sowie die Elektronentemperatur und die Elektronenstoßfrequenz – also die wichtigsten Plasmaparameter.

Mit der Kenntnis dieser Werte können Flüsse und Verteilungsfunktionen abgeschätzt werden.

Die Sonde ist in einem Keramikrohr montiert – dies macht die MRP-Messung unempfindlich gegen dielektrische Beschichtungen.

BRANCHEN

Die Multipolresonanzsonde wurde bereits in einer Vielzahl von unterschiedlichen Anwendungen genutzt. Sie wurde in der optischen Abscheidung und anderen Systemen der Photonik, bei der Glasbeschichtung sowie in Ätz- oder PECVD- und HPPMS-Prozessen eingesetzt.

Die Sonde arbeitet in kapazitiv oder induktiv gekoppelten Plasmen, mit Mikrowellenquellen, in staubigen Plasmen, mit DC-, MF-, RF-Anregung, gepulst, …

Die MRP funktioniert universell in Niederdruck- und Niedertemperaturplasmen, die in der Photonik, Glasherstellung, Halbleiterverarbeitung und vielen anderen Bereichen eingesetzt werden. Sie ist in verschiedenen Ausführungen verfügbar.

Lassen Sie uns prüfen, ob sie zu Ihrem System passt!