MRP

Die Multipolresonanzsonde ist aktuell in der Entwicklung. Wir überarbeiten die Hauptteile der Hardware: Den Sondenkopf, die Vakuummechanik und erstellen eigene Elektronik und Software zur Signalerzeugung und -aufnahme, sowie zur Datenverarbeitung.

Bei Bedarf können Sie sich melden und wir erörtern, ob wir Ihr Anliegen erfüllen können! Unten sind unsere aktuellen Ausführungen aufgeführt.


Flanschfixierte MRP

  • Einfaches Montieren
  • Alle Elektronik befindet sich außerhalb der Kammer
  • Länge des Glasrohres kann eingestellt werden
  • Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme

Frei positionierbare MRP

  • Flexibelste Positionierung
  • Installation dort, wo kein Abschatten stattfindet
  • Flexibles Kabel im Vakuum zum Flansch
  • Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme

Positioniermechanik MRP

  • Ortsauflösung der Plasmaparameter
  • Schutz der Sonde im Flansch möglich
  • Mechanisches System befindet sich außerhalb der Kammer
  • Geeignet für Forschung und Entwicklung

Wandintegrierte planare MRP

  • Sonde ist für den Prozess versteckt
  • Kein Abschatten oder Stören des Prozesses
  • Positionierung im Flansch möglich
  • Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme