Die Multipolresonanzsonde ist aktuell in der Entwicklung. Wir überarbeiten die Hauptteile der Hardware: Den Sondenkopf, die Vakuummechanik und erstellen eigene Elektronik und Software zur Signalerzeugung und -aufnahme, sowie zur Datenverarbeitung.
Bei Bedarf können Sie sich melden und wir erörtern, ob wir Ihr Anliegen erfüllen können! Unten sind unsere aktuellen Ausführungen aufgeführt.
Bitte beachten Sie unsere Datenschutzerklärung.
Flanschfixierte MRP
- Einfaches Montieren
- Alle Elektronik befindet sich außerhalb der Kammer
- Länge des Glasrohres kann eingestellt werden
- Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme
Frei positionierbare MRP
- Flexibelste Positionierung
- Installation dort, wo kein Abschatten stattfindet
- Flexibles Kabel im Vakuum zum Flansch
- Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme
Positioniermechanik MRP
- Ortsauflösung der Plasmaparameter
- Schutz der Sonde im Flansch möglich
- Mechanisches System befindet sich außerhalb der Kammer
- Geeignet für Forschung und Entwicklung
Wandintegrierte planare MRP
- Sonde ist für den Prozess versteckt
- Kein Abschatten oder Stören des Prozesses
- Positionierung im Flansch möglich
- Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme
