MRP

Die Multipolresonanzsonde ist aktuell in der Entwicklung. Wir überarbeiten die Hauptteile der Hardware: Den Sondenkopf, die Vakuummechanik und erstellen eigene Elektronik und Software zur Signalerzeugung und -aufnahme, sowie zur Datenverarbeitung. Wichtigster Punkt: Aktuell messen wir mit einem kommerziellen Netzwerkanalysator, der das System teurer macht und mehr technische Spezifikationen bietet, als unsere Messung benötigt.

Sollte es auch an diesem Stand schon Bedarf geben, können Sie sich melden und wir erörtern, ob wir Ihr Anliegen erfüllen können! Unten sind unsere aktuellen Ausführungen aufgeführt.


Flanschfixierte MRP

  • Einfaches Montieren
  • Alle Elektronik befindet sich außerhalb der Kammer
  • Länge des Glasrohres kann eingestellt werden
  • Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme

Frei positionierbare MRP

  • Flexibelste Positionierung
  • Installation dort, wo kein Abschatten stattfindet
  • Flexibles Kabel im Vakuum zum Flansch
  • Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme

Positioniermechanik MRP

  • Ortsauflösung der Plasmaparameter
  • Schutz der Sonde im Flansch möglich
  • Mechanisches System befindet sich außerhalb der Kammer
  • Geeignet für Forschung und Entwicklung

Wandintegrierte planare MRP

  • Sonde ist für den Prozess versteckt
  • Kein Abschatten oder Stören des Prozesses
  • Positionierung im Flansch möglich
  • Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme