Das Messprinzip

Die Multipolresonanzsonde (MRP) basiert auf dem Prinzip der aktiven Plasmaresonanzspektroskopie (APRS). Dabei wird das Plasma nicht nur beobachtet, sondern gezielt mit einer kleinen HF-Anregung untersucht.

  • Über die Elektroden der Sonde wird ein schwaches HF-Signal in das Plasma eingekoppelt. Dabei wird die Frequenz des Signals variiert.
  • Dieses Signal erzeugt charakteristische Resonanzen, die direkt mit den elektrischen Eigenschaften des Plasmas zusammenhängen.
  • Aus der Resonanzfrequenz und -breite lassen sich die Elektronendichte, Elektronentemperatur und Stoßfrequenz präzise bestimmen – also die zentralen Plasmaparameter.
  • Die Sonde ist in ein Glasrohr eingebaut, wodurch sie weitgehend unempfindlich gegen dielektrische Beschichtungen und Verschmutzungen ist.
  • Die Messung erfolgt in-situ und in Echtzeit direkt im Prozess, ohne diesen zu stören.

Kernvorteile des Messprinzips

  • Direkter Zugriff auf die wichtigsten Plasmaparameter
  • Universell einsetzbar in verschiedensten Plasmatypen (kapazitiv, induktiv, DC, RF, MF, gepulst, Mikrowelle …)
  • Robust und industrienah, da keine Sichtfenster oder komplizierte optische Zugänge erforderlich sind
  • Plug-and-Play-fähig für schnelle Integration in bestehende Systeme

👉 Damit unterscheidet sich die MRP deutlich von konventionellen Diagnosen wie optischer Emissionsspektroskopie oder Strom-/Spannungsmessungen, die nur indirekte Informationen liefern.

Hier gibt es die Produktbroschüre.

Die vier Typen der Multipolresonanzsonde (MRP)

Unsere MRP-Technologie ist in vier Ausführungen verfügbar – jeweils optimiert für unterschiedliche Prozessumgebungen und Anforderungen. Alle Varianten basieren auf dem Prinzip der aktiven Plasmaresonanzspektroskopie und liefern präzise Echtzeitdaten zu Elektronendichte, Elektronentemperatur und Stoßfrequenz.

MRP FF

MRP FF Flanschfixierte MRP Einfaches Montieren Alle Elektronik befindet sich außerhalb der Kammer Länge des Glasrohres kann eingestellt werden Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme

Die vielseitige Standardausführung für eine große Bandbreite an Anwendungen.

  • Einfache Montage am Flansch
  • Alle Elektronik außerhalb der Kammer
  • Einstellbare Länge des Glasrohres
  • Perfekt für Monitoring- und Regelsysteme

MRP FP

MRP FP Frei positionierbare MRP Flexibelste Positionierung Installation dort, wo kein Abschatten stattfindet Flexibles Kabel im Vakuum zum Flansch Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme

Diese Ausführung passt überall. Kompakte Bauweise für enge Einbauumgebungen. Besonders geeignet, wenn klassische Einbaupositionen schwer zugänglich sind oder Platz eine kritische Rolle spielt.

  • Flexible Positionierung
  • Einbau da, wo gewünscht: Abschattung verhindern
  • Flexible Kabel im Plasmareaktor
  • Perfekt für Monitoring- und Regelsysteme

MRP PM

MRP PM Positioniermechanik MRP Ortsauflösung der Plasmaparameter Schutz der Sonde im Flansch möglich Mechanisches System ist außerhalb der Kammer Geeignet für Forschung und Entwicklung

Die mächtige Ausführung: Mit Positionsmechanik können ortsaufgelöste Messungen gemacht werden.

  • Ortsauflösung der Plasmaparameter
  • Schutz der Sonde gegen Beschichtung durch Verstecken im Flansch
  • Positioniersystem außerhalb der Vakuumkammer
  • Perfekt für Forschung und Entwicklung

pMRP

pMRP WI Wandintegrierte planare MRP Sonde ist für den Prozess versteckt Kein Abschatten oder Stören des Prozesses Positionierung im Flansch möglich Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme

Der planare, wandintegrierte Sensor nimmt keinen Einfluss auf das Plasma – er ist versteckt.

  • Sonde ist für den Prozess versteckt
  • Kein Abschatten oder Stören des Prozesses
  • Positionierung im Flansch
  • Perfekt für Monitoring- und Regelsysteme

Die Add-Ons

Mehrkanalsystem

Bis zu 5 Kanäle mit einer Elektronik – egal welche Sonden angeschlossen sind.

Flanschelektronik

Die Signalwege sollen kurz gehalten sein. Mit der zentralen Messelektronik unmittelbar am Flansch gelingt das – und der Rest kann bis zu 100 Meter weit weg stehen oder gar über das Netzwerk angebunden werden.

AD/IO-Modul

Für verschiedene Einbindungen kann ein Analog/Digital-Input/Output-Modul ergänzt werden. Die 5V-TTL Digitalsignale oder die 0-10V Analogsignale sind frei zu verknüpfen. So können Regelkreise aufgebaut werden, indem Stellgrößen ausgegeben werden. Oder der Druck (notwendig für die Auswertung der Daten) kann zugeführt werden. Ebenso können die berechnetes Plasmaparameter in analoge Signale umgewandelt und so anderen Systemen zur Verfügung gestellt werden. Alles ist möglich.

Shutter (entwickelbar)

Soll die Sonde geschützt werden, bspw. gegen metallische Beschichtung, ist ein Shuttersystem notwendig.

GUI

Als Stand-Alone-System oder um einen maximalen Funktionsumfang nutzen zu können, steht eine graphische Benutzeroberfläche zur Verfügung, in der alle Messgrößen eingestellt und ausgegeben werden können.

Einbindung mit APIs

Für die Einbindung in andere Systeme stehen verschiedene APIs zur Verfügung.

Fazit: Unabhängig von Ihrer Anwendung finden Sie in unserem Portfolio die passende MRP-Ausführung – präzise, robust und auf Ihre Prozesswelt zugeschnitten.

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