Messtechnik leihen

Manchmal ist es so, dass ein Prozess nicht tut, was er soll. Oder man fährt einen neuen Prozess ein. Vielleicht steht ein Vergleich an zwischen verschiedenen Prozessen. Oder es wird ein Zusammenhang gesucht zwischen Plasmaparametern und Produktperformance. Und es fehlt gerade die richtige Messtechnik dafür. Aber nur dafür ein Kauf lohnt sich auch nicht. Oder man möchte ein Gerät erst evalulieren und dann später erwerben.

Dafür können wir die Messtechnik vorübergehend als Leihgerät zur Verfügung stellen. Für die Multipolresonanzsonde stehen verschiedene Designs zur Verfügung, die unten noch einmal aufgelistet sind.


Flanschfixierte MRP

  • Einfaches Montieren
  • Alle Elektronik befindet sich außerhalb der Kammer
  • Länge des Glasrohres kann eingestellt werden
  • Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme

Frei positionierbare MRP

  • Flexibelste Positionierung
  • Installation dort, wo kein Abschatten stattfindet
  • Flexibles Kabel im Vakuum zum Flansch
  • Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme

Positioniermechanik MRP

  • Ortsauflösung der Plasmaparameter
  • Schutz der Sonde im Flansch möglich
  • Mechanisches System befindet sich außerhalb der Kammer
  • Geeignet für Forschung und Entwicklung

Wandintegrierte planare MRP

  • Sonde ist für den Prozess versteckt
  • Kein Abschatten oder Stören des Prozesses
  • Positionierung im Flansch möglich
  • Geeignet für Monitoring und Regelungssysteme